MINI LED 真空Plasma FLEX-PS

本设备是按照触摸屏行业mini LED产品清洁研发设计，产品由玻璃取放机械臂搬送至腔体电极上，电极上部有多条产品支撑，机械臂进入腔体到位后下降，产品被支撑条托住，机械臂抽出，产品依次放置，共计可放置10层产品；采用自动升降门的结构，节省开门空间，高度依据机械臂标准作业高度设计，最大限度的提升机械臂的作业范围，此设备采用PLC+工控机系统，实现全自动控制。

<p><strong>MINI LED 真空Plasma FLEX-PS-11L/13L</strong></p> <p>产品特点</p> <p>采用全自动开关门</p> <p>支撑条固定在电极上，节省空间</p> <p>机械臂全自动上下料</p> <p>产品尺寸：1050mm(L)*1600mm(W)*5mm(H)</p> <p>进出料自动感应，以防产品漏加工</p> <p>采用PLC 工控机系统，实现全自动控制。</p> <p>真空检测0-10 TORR(美国英福康)</p> <p></p> <p>产品详情</p> <div> <p>设备尺寸：1850mm(L)&times;1850mm(W)&times;2780mm(H)</p> <p>真空室尺寸：800mm(L)&times;1100mm(W)&times;1350mm(H)（可按产能订制）</p> <p>水平电&nbsp;极板：电极板11层/13层，产品可放置10层/12层</p> <p>电极板：标准：780mm*900mm</p> <p>RF&nbsp;等离子发生器&nbsp;&amp;&nbsp;网络匹配：额定功率：0-10KW(AE)</p> <p>过程温度控制：30-90℃恒定可控</p> <p>气体流量控制器，扩展至&nbsp;5&nbsp;路气体：0-1000ml/min-0-5000ml/min(&nbsp;美国&nbsp;MKS/&nbsp;SEVEN&nbsp;STAR)</p> <p>真空测量：0-10&nbsp;TORR(&nbsp;美国或日本）</p> <p>人机界面触摸屏：可根据中国区客户实际需求，中文界面</p> <p>信号指示灯：3&nbsp;色带警报</p> <p>真空发生系统：干泵机组（台湾&nbsp;HanBell&nbsp;干式真空机组，）</p> <p></p> </div> <p></p>